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标签: 化学气相沉积

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  • C2_Swan带合成OES光谱数据集

    2025年12月9日 30 138 116

    数据集概述 该数据集包含C2 Swan带的合成光学发射光谱（OES）数据，主要用于支持等离子体测温相关的机器学习研究，对应论文“Processing slightly resolved ro-vibrational spectra... machine learning approach for plasma...
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  • 稀土掺杂硅酸钇_Y2SiO5_薄膜化学气相沉积实验数据_量子技术

    2025年12月6日 30 156 144

    数据集概述 本数据集包含稀土掺杂硅酸钇（Y₂SiO₅）薄膜通过化学气相沉积法制备的实验数据，数据支撑量子技术相关研究，对应《Journal of Luminescence》2024年发表的学术论文。 文件详解 数据文件总计24个，无目录结构，包含以下类型：...
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