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标签: 离子注入工艺

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  • NL24_35_10813_Based_硅离子注入非对称定向耦合器模式转换微调测量数据集

    2026年1月13日 30 117 74

    数据集概述 本数据集包含论文“Mode Conversion Trimming in Asymmetric Directional Couplers Enabled by Silicon Ion Implantation”中描述的测量结果，涵盖元数据文档和原始数据表格两类文件，共2个文件，无目录结构，可用于硅基光电子器件模式转换性能分析。 文件详解...
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  • Optical_response_Based_离子注入硅酸盐玻璃波导光学响应实验数据_2024

    2026年1月12日 30 181 15

    数据集概述 本数据集包含通过离子注入技术制备、带有不同厚度光学屏障的硅酸盐玻璃通道波导的光学响应相关数据，涵盖模拟、测量及表征结果，共含5个压缩文件，用于研究该类波导的光学特性。 文件详解 112024.zip 文件格式：ZIP 内容说明：包含2024年新增的模拟数据，内含描述方法的Readme文件 m_line.zip 文件格式：ZIP...
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  • 热退火对硅中离子注入锰原子状态的影响数据集

    2025年12月23日 30 9 7

    数据集概述 本数据集聚焦于热退火对硅中离子注入锰原子状态的影响，以PDF文档形式呈现相关研究内容，为材料科学领域中离子注入与退火工艺的研究提供数据支持。 文件详解 文件名称: Б.Э. Эгамбердиев.pdf 文件格式: PDF（.pdf） 内容说明: 该文档为研究热退火对硅中离子注入锰原子状态影响的核心资料，具体内容需通过PDF文档查看。...
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  • 氮离子注入对可降解Zn_0_8Mg_0_2Sr基底薄层微观结构及化学成分影响数据集

    2025年12月20日 30 2 1

    数据集概述 本数据集围绕氮离子注入对可降解Zn-0.8Mg-0.2Sr合金基底薄层的微观结构及化学成分影响展开，包含实验过程及结果数据，为研究该合金表面改性机制提供支持。 文件详解 文件名称：Description of data.txt，文件格式：TXT 内容：包含实验相关的公式（如非主Mg组分密度公式）、图表说明（如N浓度-...
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  • 硅中离子注入分布剖面研究及热退火对硅化铁结构影响

    2025年12月15日 30 41 2

    数据集概述 该数据集包含一份关于硅中离子注入分布剖面及热退火对硅化铁结构影响的研究文档，聚焦离子注入分布特征与热退火工艺对硅化铁结构的作用，为相关材料科学研究提供文献支持。 文件详解 该数据集包含一个PDF格式的文档文件，具体如下： - 文件名称: А.А.Khamraev, Kh.A.Dusmatov,B.E.Egamberdiev, S.Kh....
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