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Coupling_Silicon_Lithography_Metal_Casting_实验数据集_2022
2025年12月30日 30 78 25
数据集概述 本数据集对应论文《Coupling Silicon Lithography with Metal Casting》,包含与硅光刻和金属铸造耦合实验相关的数据文件与视频补充材料,共7个文件,涵盖铜、银及镀银氮化硅的实验数据及配套视频,用于支持微电子制造工艺中相关材料的力学性能与工艺过程研究。 文件详解 数据文件(共3个,格式为XLSX)...



