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数据5D_NP_FABTECH_ALD_氧化锌等离子体增强原子层沉积初始生长数据集2022
2025年12月22日 30 203 62
数据集概述 本数据集对应2022年发表的研究论文，内容为聚合物薄膜上汽相沉积氧化锌（ZnO）在等离子体增强原子层沉积过程中的初始生长相关数据，包含多种表征技术的原始数据、补充信息及说明文档。 文件详解 说明文档类（.txt格式）： main.readme.txt.txt：数据集总说明文档 5D-NP-FABTECH_ALD-...
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