数据集概述
本数据集对应2022年发表的研究论文，内容为聚合物薄膜上汽相沉积氧化锌（ZnO）在等离子体增强原子层沉积过程中的初始生长相关数据，包含多种表征技术的原始数据、补充信息及说明文档。
文件详解
- 说明文档类（.txt格式）：
- main.readme.txt.txt：数据集总说明文档
- 5D-NP-FABTECH_ALD-XRR.readme.txt、5D-NP-FABTECH_ALD-XRF.readme.txt等系列文件：分别对应X射线反射率（XRR）、X射线荧光（XRF）、扫描电镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、红外光谱（FTIR）、二次电子（SE）、X射线光电子能谱（XPS）、X射线衍射（XRD）等表征技术的说明文档
- 原始数据压缩包（.zip格式）：
- 5D-NP-FABTECH_ALD-FTIR.zip、5D-NP-FABTECH_ALD-XRF.zip等系列文件：对应各表征技术的原始数据压缩包
- 补充信息文件（.pdf格式）：
- SI_Demelius - 2022 - Shedding light on the initial growth of ZnO during.pdf：研究论文的补充信息文档
- 原子力显微镜数据文件（.nid格式）：
- ZnOonpHEMA_100cycles_30W_20210527_AFM_P2-4.nid：特定条件下（100次循环、30W功率）氧化锌在pHEMA聚合物上沉积的原子力显微镜原始数据
适用场景
- 材料科学研究：分析氧化锌在聚合物薄膜上原子层沉积的初始生长机制与薄膜特性
- 表征技术应用：验证X射线反射率、红外光谱等多种表征技术在薄膜材料分析中的协同应用
- 薄膜制备工艺优化：基于不同沉积条件下的表征数据，优化等离子体增强原子层沉积工艺参数
- 学术研究复现：支持相关研究论文结果的复现与扩展分析
