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标签: 光刻工艺

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  • 电子束光刻点扩散函数的测量模拟与模型数据集2025

    2025年12月6日 30 144 83

    数据集概述 本数据集包含电子束光刻点扩散函数的相关数据，涵盖150千伏下单次电子束曝光的孔半径测量结果、5至150千伏下材料堆叠的蒙特卡洛剂量分布模拟，以及幂律加高斯模型的拟合数据。 文件详解 文件名称: Data_Hougs_2025_Measurements.zip 文件格式: ZIP压缩包 文件内容:...
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  • BeMAGIC_ME纳米物体及纳米颗粒合成数据集_ICN2

    2025年12月6日 30 25 14

    数据集概述 本数据集记录BeMAGIC ITN项目中通过模板辅助电沉积、光刻及其他湿化学方法合成ME纳米物体与纳米颗粒的研究结果，数据来源于ICN2机构，以PDF文档形式呈现。 文件详解 文件名称: BeMAGIC_Synthesis of ME objects, nanoparticles_ICN2.pdf 文件格式: PDF (.pdf)...
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  • BeMAGIC_ME纳米物体与纳米颗粒合成数据集_UAB

    2025年12月5日 30 147 137

    数据集概述 该数据集记录了BeMAGIC ITN项目中，通过模板辅助电沉积、光刻及其他湿化学方法合成ME纳米物体与纳米颗粒的研究成果，由UAB提供，为相关材料合成研究提供参考。 文件详解 文件名称：BeMAGIC_Synthesis of ME objects, nanoparticles_UAB.pdf 文件格式：PDF...
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