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标签: 千伏电压

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  • 电子束光刻点扩散函数的测量模拟与模型数据集2025

    2025年12月6日 30 94 33

    数据集概述 本数据集包含电子束光刻点扩散函数的相关数据，涵盖150千伏下单次电子束曝光的孔半径测量结果、5至150千伏下材料堆叠的蒙特卡洛剂量分布模拟，以及幂律加高斯模型的拟合数据。 文件详解 文件名称: Data_Hougs_2025_Measurements.zip 文件格式: ZIP压缩包 文件内容:...
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