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标签: 反应物流量

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  • 原子层沉积与刻蚀工艺模式提取数据集

    2025年12月18日 30 190 102

    数据集概述 该数据集包含使用Schema-Miner工具从科学文献中提取的原子层沉积（ALD）和原子层刻蚀（ALE）工艺的JSON模式，分为实验和模拟两类场景，覆盖工艺属性、约束及数据类型等标准化结构信息，用于科学流程建模与互操作性研究。 文件详解 原子层沉积（ALD）模式文件： ALD-simulation-...
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