数据集概述
该数据集包含使用Schema-Miner工具从科学文献中提取的原子层沉积（ALD）和原子层刻蚀（ALE）工艺的JSON模式，分为实验和模拟两类场景，覆盖工艺属性、约束及数据类型等标准化结构信息，用于科学流程建模与互操作性研究。
文件详解
- 原子层沉积（ALD）模式文件：
- ALD-simulation-schema.json：JSON格式的ALD模拟场景工艺模式文件，包含模拟视角下的工艺属性及结构信息
- ALD-experimental-schema.json：JSON格式的ALD实验场景工艺模式文件，支持二元/三元/四元化合物、超循环工艺等复杂材料系统建模，包含循环生长值、反应物流量、材料表征方法及薄膜晶体管性能参数等字段
- 原子层刻蚀（ALE）模式文件：
- ALE-simulation-schema.json：JSON格式的ALE模拟场景工艺模式文件，包含模拟视角下的工艺属性及结构信息
- ALE-experimental-schema.json：JSON格式的ALE实验场景工艺模式文件，包含实验视角下的工艺属性及结构信息
- 补充文档：
- qudt-mapped-properties-overview.pdf：PDF格式文档，可能包含属性与QUDT（数量、单位和数据类型）本体映射的概述信息
适用场景
- 材料科学研究：用于原子层沉积与刻蚀工艺的标准化建模与分析
- 科学工作流开发：支持ALD/ALE实验与模拟流程的互操作性设计
- 学术研究复现：为ESWC 2025会议论文“LLMs4SchemaDiscovery”的方法论提供数据支撑
- 知识图谱构建：作为Open Research Knowledge Graph（ORKG）的模板资源，用于科学知识结构化表达
