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粒子输运模拟
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溅射粒子输运的蒙特卡罗模拟数据集
2025年11月26日
30
199
180
数据集概述 本数据集包含蒙特卡罗模拟程序SPATS的压缩文件,该程序用于模拟磁控溅射沉积过程中中性溅射粒子的输运行为,可输出粒子通量空间分布、密度及动能分布等关键参数,支持三种碰撞模型。 文件详解 文件名称: adkn_v1_0.tar.gz 文件格式: 压缩包(.tar.gz) 内容说明:...
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