溅射粒子输运的蒙特卡罗模拟数据集

数据集概述

本数据集包含蒙特卡罗模拟程序SPATS的压缩文件，该程序用于模拟磁控溅射沉积过程中中性溅射粒子的输运行为，可输出粒子通量空间分布、密度及动能分布等关键参数，支持三种碰撞模型。

文件详解

• 文件名称: adkn_v1_0.tar.gz
• 文件格式: 压缩包（.tar.gz）
• 内容说明: 包含SPATS程序的完整代码及相关文件，程序可模拟磁控溅射沉积中中性粒子的输运过程，支持Biersack势、Lennard-Jones势、硬球碰撞三种碰撞模型，输出通量分布、粒子密度、动能分布等结果。

数据来源

CPC Program Library（Queen's University Belfast）、Mendeley Data

适用场景

• 材料科学研究: 分析磁控溅射沉积过程中粒子输运对薄膜生长的影响
• 等离子体物理模拟: 研究惰性气体原子与溅射粒子的碰撞机制及能量传递规律
• 薄膜制备工艺优化: 基于粒子输运模拟结果调整沉积系统几何结构、气压等参数
• 计算物理方法验证: 对比不同碰撞模型（如硬球近似与势函数模型）的模拟精度差异