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标签: 薄膜制备工艺

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  • 富氮氮化铪薄膜点缺陷超结构金属延展性与高硬度实验数据集

    2025年12月6日 30 98 97

    数据集概述 本数据集为学术论文《Metal-like ductility and high hardness in nitrogen-rich HfN thin films by point defect superstructuring》的配套实验数据，包含多种表征与测试结果，用于支撑论文中关于富氮氮化铪薄膜性能的研究结论。 文件详解...
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  • 稀土掺杂硅酸钇_Y2SiO5_薄膜化学气相沉积实验数据_量子技术

    2025年12月6日 30 207 64

    数据集概述 本数据集包含稀土掺杂硅酸钇（Y₂SiO₅）薄膜通过化学气相沉积法制备的实验数据，数据支撑量子技术相关研究，对应《Journal of Luminescence》2024年发表的学术论文。 文件详解 数据文件总计24个，无目录结构，包含以下类型：...
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  • 铌薄膜结构对超导电路损耗影响数据集

    2025年12月4日 30 67 45

    数据集概述 本数据集围绕铌薄膜结构对超导电路损耗的影响展开，包含支撑相关研究的实验或分析数据，以压缩包形式存储，为探究材料结构与超导性能关系提供数据支持。 文件详解 文件名称: dataForNbPaper.zip 文件格式: ZIP (.zip) 内容说明: 该压缩包为数据集的唯一文件，未提供内部文件结构及字段信息，具体内容需解压后查看 适用场景...
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