数据集概述
本数据集为学术论文《Metal-like ductility and high hardness in nitrogen-rich HfN thin films by point defect superstructuring》的配套实验数据，包含多种表征与测试结果，用于支撑论文中关于富氮氮化铪薄膜性能的研究结论。
文件详解
- 扫描电镜（SEM）图像文件（.tif格式）: 如 P2_04 SEM Post compression.tif、P6_06 SEM Post compression.tif 等，记录薄膜压缩前后的微观形貌。
- X射线衍射（XRD）数据文件（.xy格式）: 如 XRD HfN1.22 on MgO.xy、XRD HfN1.22 on Si.xy 等，包含不同衬底上氮化铪薄膜的衍射数据。
- 扫描透射电镜（STEM）图像文件（.dm4格式）: 如 STEM of pillar, HfN1.22, 225kx 02_1.dm4 等，提供薄膜及微柱的高分辨率结构信息。
- 选区电子衍射（SAED）数据文件（.dm3格式）: 如 SAED HfN1.33, Film 3.dm3 等，记录薄膜的晶体结构特征。
- X射线反射率（RSM）数据文件（.xrdml格式）: 如 RSM HfN1.33, MgO peak 3-1-1.xrdml 等，包含薄膜的反射率测试数据。
- 等离子体探针数据文件: 如 Langmuir probe, HfN1.33 1、Flat plasma probe, HfN1.22 1 等，记录薄膜制备过程中的等离子体参数。
- 微柱压缩数据文件（.xy格式）: 如 Pillar compression, Averaged data HfN1.22 640 nm.xy 等，包含微柱压缩实验的力学性能数据。
- 压缩实验图像文件（.png格式）: 如 Pre compression.png，记录压缩实验前的样品状态。
- 压缩实验数据文件（.xlsx格式）: Micropillar compression data.xlsx，汇总微柱压缩实验数据。
适用场景
- 材料科学研究: 分析富氮氮化铪薄膜的微观结构与力学性能关联
- 薄膜材料表征: 研究不同衬底对氮化铪薄膜性能的影响
- 缺陷工程研究: 探究点缺陷超结构对薄膜金属延展性与硬度的调控机制
- 实验数据验证: 复现论文结论或扩展相关研究方向
- 材料性能优化: 为氮化铪薄膜在工业应用中的性能改进提供数据支持
