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标签: 锗浓度

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  • 硅锗合金单层掺杂实验数据集

    2025年12月19日 30 79 22

    数据集概述 本数据集包含硅锗（SiGe）合金单层掺杂（MLD）实验的相关数据，涉及不同锗浓度（18%、30%、60%）外延薄膜的磷掺杂研究，涵盖原子力显微镜（AFM）、透射电子显微镜（TEM）、二次离子质谱（SIMS）等实验结果文件，为分析掺杂与应变弛豫平衡关系提供支撑。 文件详解 该数据集包含27个文件，具体说明如下： -...
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