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数据4H_SiC_0001_晶圆脉冲193nm准分子激光加工与辐射曝光相关原位反射率研究数据集

2025年12月7日 30 161 151

数据集概述本数据集为会议论文，内容围绕4H-SiC(0001)晶圆的脉冲193nm准分子激光加工展开，通过辐射曝光相关的原位反射率研究，为工艺优化提供数据支持。文件详解文件名称: Krishna-1.pdf 文件格式: PDF (.pdf) 文件内容:...
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