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标签: ALD

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  • 原子层沉积与刻蚀工艺模式提取数据集

    2025年12月18日 30 99 95

    数据集概述 该数据集包含使用Schema-Miner工具从科学文献中提取的原子层沉积（ALD）和原子层刻蚀（ALE）工艺的JSON模式，分为实验和模拟两类场景，覆盖工艺属性、约束及数据类型等标准化结构信息，用于科学流程建模与互操作性研究。 文件详解 原子层沉积（ALD）模式文件： ALD-simulation-...
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  • 硫化铟_III_原子层增材制造数据集

    2025年12月8日 30 177 117

    数据集概述 本数据集是与同名出版物相关的研究数据，核心内容围绕硫化铟(III)的原子层增材制造技术展开，为相关领域的实验复现与技术分析提供数据支持。 文件详解 文件名称: In2S3_ALAM_data.zip 文件格式: .zip（压缩包格式） 内容说明:...
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