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标签: CFD模拟应用

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  • CFD_GaN_MOCVD行星式薄膜沉积速率优化研究数据

    2026年1月30日 30 150 73

    数据集概述 本数据集围绕行星式GaN-MOCVD薄膜沉积速率优化展开，基于CFD模拟与响应面模型研究，通过优化七片6英寸晶圆行星式结构不同基板转速，分析转速对薄膜生长速率与均匀性的影响，提出工业应用的转速匹配优化方案，为半导体薄膜制备提供参考。 文件详解 文件名称：s-1.docx 文件格式：DOCX 字段映射介绍：包含GaN-...
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