Al0_60Sc0_40N薄膜压电与弹性性能研究数据集

数据集概述

本数据集为支持论文《沉积在图案化金属电极上的Al0.60Sc0.40N薄膜的压电与弹性性能》的研究数据，包含相关实验或分析数据，为Al0.60Sc0.40N薄膜材料性能研究提供数据支撑。

文件详解

• 文件名称：mliffredo_JVSTA_data.zip
• 文件格式：ZIP压缩包
• 内容说明：该压缩包包含论文相关的原始或处理后研究数据，具体字段及内容需解压后查看，未提供预览信息。

适用场景

• 材料科学研究：分析Al0.60Sc0.40N薄膜的压电与弹性性能特性
• 薄膜材料工程：探究图案化金属电极对薄膜性能的影响
• 真空科学与技术领域：支撑相关薄膜材料性能的实验验证与理论研究