数据集概述
该数据集包含与论文《衬底与热处理对金属有机化学气相沉积生长Sb2Te3薄膜的影响》相关的原始数据文件，对应论文中的图表内容，为研究Sb2Te3薄膜的生长特性提供数据支持。
文件详解
- 图表原始数据文件：
- 格式：.esg、.opju
- 示例文件：Fig9(a)_left.esg、Fig8(b).esg、Fig2.opju等，共15个文件，对应论文中图表的原始数据
- 图像文件：
- 格式：.jpg、.tif
- 示例文件：Figure1_AFM_Si(111).jpg、Figure1_SEM_a-Al2O3.tif等，共30个文件，包含原子力显微镜（AFM）和扫描电镜（SEM）图像，覆盖Si(111)、Si(100)、a-Al2O3等不同衬底的薄膜表征结果
适用场景
- 材料科学研究：分析衬底类型与热处理工艺对Sb2Te3薄膜生长的影响
- 薄膜表征分析：研究不同衬底条件下Sb2Te3薄膜的表面形貌与微观结构
- 半导体材料开发：为Sb2Te3薄膜在相变存储等领域的应用提供数据支撑
- 实验结果复现：辅助论文《Effect of Substrates and Thermal Treatments on Metalorganic Chemical Vapor Deposition-Grown Sb2Te3 Thin Films》的结果验证与扩展研究
