单极与双极HiPIMS脉冲配置增强绝缘表面能量通量数据集

数据集概述

本数据集为研究单极与双极高功率脉冲磁控溅射（HiPIMS）脉冲配置对绝缘表面能量通量影响的配套数据，包含研究论文、元数据、说明文档及压缩文件，为相关等离子体技术研究提供支持。

文件详解

• ReadMe.txt：文本格式文件，包含数据集的基本说明及与对应出版物的关联信息。
• Metadata.ods：电子表格格式文件，可能记录数据集的元数据信息。
• Farahani_2025_Plasma_Sources_Sci._Technol._34_03LT02.pdf：PDF格式文件，为研究对应的学术出版物全文。
• 2024_ZCU_FAV_Farahani_02.zip：压缩包格式文件，可能包含数据集的补充数据或原始数据。

适用场景

• 等离子体物理研究：分析HiPIMS脉冲配置对能量通量的调控机制。
• 材料表面处理技术研究：探究绝缘材料表面能量通量优化的工程应用。
• 学术研究复现：支持相关论文结论的验证与扩展分析。
• 等离子体设备设计：为HiPIMS脉冲电源配置优化提供数据参考。