数据集概述
本数据集围绕反应性高功率脉冲磁控溅射（HiPIMS）沉积氧化铬的工艺参数与性能关联展开，包含实验数据、图像及文档等多种类型文件，为研究工艺参数对氧化铬性能的影响提供数据支持。
文件详解
该数据集包含多种格式的文件，具体说明如下：
- 文档与文本文件：
- ReadMe 11-08-25.txt：说明文档，介绍数据集基本信息
- CrO KICK 31.3.25 600c 19554 Al2O3 2N 5000c.txt：实验参数相关文本文件
- CrO KICK 31.3.25 Al2O3 2N 5000c 10cm-1.txt：光谱或测试数据文本文件
- JW_ocel_AKVN.txt、JW_CrO_KICK_ocel.txt：实验数据记录文本文件
- 图像文件：
- .tif格式文件（如CrO bias 07O2 01.tif、CrO kick 07O2 01.tif等）：共12个，可能为实验样品形貌或测试图像
- .jpg格式文件（如CrO 0,7O2 BIAS 200v kalotest 30 mm 2.35um.jpg等）：共10个，可能为测试结果或样品图像
- 压缩文件：
- CrO 0,7O2 KICK 2N.zip、CrO 0.7O2 BIAS 2N.zip：共2个压缩包，可能包含实验原始数据或补充文件
- 数据文件：
- Roughness.csv：CSV格式，包含BIAS工艺参数下的粗糙度数据（如Sa、D2等指标）
- Roughness 2.csv：CSV格式，包含KICK工艺参数下的粗糙度数据（如Sa、D2等指标）
- PDF文件：
- CrO KICK 31.3.25 600c 19554 Al2O3 2N 5000c 10cm-1.pdf等：共4个，可能为实验报告或分析文档
适用场景
- 材料科学研究：分析反应性HiPIMS工艺参数对氧化铬性能的影响机制
- 薄膜制备工艺优化：基于工艺参数与性能数据优化氧化铬沉积工艺
- 表面工程应用：研究氧化铬薄膜的粗糙度等性能与应用场景的匹配性
- 实验数据验证：为相关领域的理论模型提供实验数据支撑
