数据集概述
本数据集为晶圆级六方氮化硼单层无损厚度映射相关实验数据，包含拉曼光谱、椭圆偏振映射、图像文件等，支持材料厚度表征研究。
文件详解
- 拉曼数据文件（.txt格式）：
- Raman_data_ProcessA_Sample1_spectrum.txt：ProcessA工艺Sample1的拉曼光谱数据，包含波数与强度数值对
- Raman_data_ProcessA_Sample1_map_of_area.txt：ProcessA工艺Sample1的区域映射数据
- Raman_data_ProcessA_Sample2_spectrum.txt：ProcessA工艺Sample2的拉曼光谱数据
- Raman_data_ProcessA_Sample2_map_of_peak_pos.txt：ProcessA工艺Sample2的峰位映射数据
- Raman_data_ProcessA_Sample2_map_of_fwhm.txt：ProcessA工艺Sample2的半高宽映射数据
- 图像文件：
- .gwy格式（4个）：Figure S15a.gwy、Figure S15b.gwy等，可能为原始实验图像
- .tif格式（3个）：Figure S14_middle.tif、Figure S14_top.tif等，分层图像文件
- .jpg格式（6个）：ProcessB_20x.jpg、ProcessA_Sample2_20x_contrast_enhanced.jpg等，不同工艺样本的显微镜图像
- 椭圆偏振数据文件（.xlsx格式）：
- Ellipsometry_maps_raw_data_processB.xlsx：ProcessB工艺的椭圆偏振映射原始数据
- Ellipsometry_maps_raw_data_processA.xlsx：ProcessA工艺的椭圆偏振映射原始数据
数据来源
ACS Applied Materials & Interfaces（DOI: 10.1021/acsami.8b08609）
适用场景
- 二维材料厚度表征方法研究
- 晶圆级六方氮化硼制备工艺优化
- 拉曼光谱与椭圆偏振技术联合表征分析
- 纳米材料无损检测技术开发
