数据集概述
本数据集为论文“Achieving high-accuracy and noise-robust process window analysis through stepwise regression”的原始数据，用于支持高精度、抗噪声的工艺窗口分析研究。数据以单一Excel文件形式呈现，包含图表和表格相关的实验数据，可用于验证逐步回归方法在半导体工艺优化中的应用效果。
文件详解
- 文件名称：data for Figs and Tables.xlsx
- 文件格式：XLSX
- 字段映射介绍：文件包含论文图表和表格对应的原始实验数据，具体字段需结合论文内容对应，但推测涵盖工艺参数、实验测量值、回归分析中间结果等支撑工艺窗口分析的核心数据。
数据来源
论文“Achieving high-accuracy and noise-robust process window analysis through stepwise regression”
适用场景
- 半导体工艺窗口分析: 验证逐步回归方法在提升工艺窗口分析精度和抗噪声能力上的效果。
- 集成电路制造工艺优化: 基于实验数据优化半导体制造过程中的关键工艺参数。
- 回归分析方法应用研究: 探索逐步回归在工业数据建模中的适用性和性能表现。
- 半导体制造质量控制: 为集成电路生产过程中的质量监控提供数据支撑和方法参考。
