数据集概述
本数据集为《微型真空腔室用于空气敏感纳米器件电学表征》一文的配套数据，对应文章中的图表内容，包含相关实验数据及扩展资料，支持对空气敏感纳米器件电学性能测试的研究验证。
文件详解
- 文件名称：Dataset_BP_FET.xlsx
- 文件格式：Excel表格（.xlsx）
- 内容说明：可能包含黑磷场效应晶体管（BP FET）的电学表征实验数据，具体字段需结合文章图表对应分析
- 文件名称：Dataset_Chamber_pumpdown.xlsx
- 文件格式：Excel表格（.xlsx）
- 内容说明：可能包含真空腔室抽真空过程的相关实验数据，如压力随时间变化等参数记录
- 文件名称：Extended_Data_Miniature_VacuumChamber.pdf
- 文件格式：便携式文档格式（.pdf）
- 内容说明：可能包含微型真空腔室的扩展数据、实验细节或补充图表等文档资料
适用场景
- 纳米器件表征研究：用于分析空气敏感纳米器件在真空环境下的电学性能变化
- 真空腔室技术验证：支持微型真空腔室抽真空效率及稳定性的实验数据验证
- 材料科学实验复现：为相关领域研究人员复现文章实验结果提供数据支持
- 电子器件工程应用：辅助开发适用于空气敏感纳米器件的测试平台与技术方案
