悬浮铌酸锂声谐振器与大马士革电极射频滤波支撑数据集

数据集概述

本数据集包含论文《Suspended lithium niobate acoustic resonators with Damascene electrodes for radiofrequency filtering》中所有图表的生成数据与代码，为复现论文中的研究结果提供支撑。

文件详解

• fig3.zip: 压缩文件，包含用于生成论文中第3幅图表的数据与代码
• fig1.zip: 压缩文件，包含用于生成论文中第1幅图表的数据与代码
• fig4.zip: 压缩文件，包含用于生成论文中第4幅图表的数据与代码

适用场景

• 射频声学器件研究：复现悬浮铌酸锂声谐振器的性能测试结果
• 微纳加工工艺分析：验证大马士革电极制备工艺对器件性能的影响
• 学术论文结果复现：辅助相关领域研究人员验证论文结论
• 射频滤波技术开发：为新型声表面波滤波器的设计提供数据参考