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标签: 原子层沉积工艺

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  • 数据5D_NP_FABTECH_ALD_氧化锌等离子体增强原子层沉积初始生长数据集2022

    2025年12月22日 30 52 16

    数据集概述 本数据集对应2022年发表的研究论文，内容为聚合物薄膜上汽相沉积氧化锌（ZnO）在等离子体增强原子层沉积过程中的初始生长相关数据，包含多种表征技术的原始数据、补充信息及说明文档。 文件详解 说明文档类（.txt格式）： main.readme.txt.txt：数据集总说明文档 5D-NP-FABTECH_ALD-...
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  • 原子层沉积与刻蚀工艺模式提取数据集

    2025年12月18日 30 196 185

    数据集概述 该数据集包含使用Schema-Miner工具从科学文献中提取的原子层沉积（ALD）和原子层刻蚀（ALE）工艺的JSON模式，分为实验和模拟两类场景，覆盖工艺属性、约束及数据类型等标准化结构信息，用于科学流程建模与互操作性研究。 文件详解 原子层沉积（ALD）模式文件： ALD-simulation-...
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