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标签: MOCVD

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  • CFD_GaN_MOCVD行星式薄膜沉积速率优化研究数据

    2026年1月30日 30 187 128

    数据集概述 本数据集围绕行星式GaN-MOCVD薄膜沉积速率优化展开，基于CFD模拟与响应面模型研究，通过优化七片6英寸晶圆行星式结构不同基板转速，分析转速对薄膜生长速率与均匀性的影响，提出工业应用的转速匹配优化方案，为半导体薄膜制备提供参考。 文件详解 文件名称：s-1.docx 文件格式：DOCX 字段映射介绍：包含GaN-...
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  • Cd1_xZnxS_Based_CdTe太阳能电池成分与退火影响实验数据2017

    2026年1月15日 30 83 25

    数据集概述 本数据集包含通过金属有机化学气相沉积法制备的超薄CdTe:As/Cd1-xZnxS光伏太阳能电池相关实验数据，研究了Cd1-xZnxS合金成分及沉积后空气退火对电池性能的影响，涉及成分结构分析、光谱响应、电流-电压特性等指标，共9个文件。 文件详解 文件名称：j.matchemphys.2017.01.067 - W per...
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  • MOCVD法制备硅基外延大面积Sb2Te3薄膜数据集

    2025年12月22日 30 161 62

    数据集概述 该数据集为MOCVD法制备硅基外延大面积Sb2Te3薄膜的研究数据，包含与论文《Epitaxial and large area Sb2Te3 thin films on silicon by MOCVD》相关的14个文件，涵盖不同测试方法生成的原始数据及图表文件，支持薄膜结构与性能的分析验证。 文件详解...
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